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目前，SOFC用固体电解质薄膜制备方法有电化学气相沉积法、化学气相沉积法、电泳沉积法、溅射法、等离子喷涂法等。
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微波ECR等离子体物理汽相沉积研究和应用
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The vapour generator for chemical vapour deposition plants allows the extraction of vapours.
用于化学汽相沉积器的蒸汽发生器允许蒸汽抽提.
网络文摘精选
Developments of diamond films by plasma chemical vapour deposition are reviewed in the paper.
本文评述了化学气相沉积法制备人造金刚石薄膜的进展情况.
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The present article introduces a new technique of chemical vapour deposition titanium Carbide.
本文介绍了一种新的化学气相沉积碳化钛方法。
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The continuous SiC fibers coated with B 4 C using chemical vapour deposition ( CVD ) were made.
采用化学气相沉积 ( CVD ) 方法,在连续SiC纤维 表面沉积一层B4C涂层.
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High quality amorphous silicon films fabrication by hot wire chemical vapour deposition technique
用热丝法制备优质稳定非晶硅薄膜的研究
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传统等离子体增强化学气相沉积（PECVD）技术，工艺成熟，制备的薄膜质量高，较适合大规模工业化生产。
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